Process Control

FabGuard Analysis Server (AS)

고급 모델링, 데이터 분석 및 시각화 기능을 통한 단순화

Product configurator

Gemini™ MxG5xx

Type
Sensor version
Ionization chamber
Emmision current
Flange connection to vacuum chamber
Switching function
Electrical connection
Digital interface
Analog output signal
Your configuration
inficon-gauge
Gemini™ MxG5xx
Flange
DN 16 ISO-KF
Switching functions
None
Electrical Connection
FCC, 8-pin
Digital Interface
None
Measurement range
1.2 - 8.68 V
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Personal information
Product
inficon-gauge
Gemini™ MxG5xx
Gemini™ MAG500
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공정 데이터 분석을 확장하여 수율 향상

FabGuard AS(Analysis Server)를 사용하면 공장 내 모든 변수를 분석하여 고급 다변량 SPC 및 모델링을 적용할 수 있습니다. 여러 공정 변수의 상호 작용으로 인한 결함은 FabGuard AS의 다양한 고급 다변량 분석 도구를 사용하여 탐지됩니다. FabGuard AS(Analysis Server)는 일변량 SPC를 사용하여 일반적으로 모니터링하지 못하는 결함을 엔지니어가 탐지할 수 있도록 하여 기존 FDC 시스템의 기능을 손쉽게 확장할 수 있습니다. 많은 결함은 여러 장비와 공정 파라미터의 복잡한 상호 작용 때문에 발생합니다. FabGuard AS는 오류 탐지, 결함 분류 및 계측 예측을 수행할 수 있도록 여러 가지 고급 기술을 제공합니다. 이러한 도구는 단순한 일변량 FDC 시스템이 절대로 발견하지 못하는 오류를 표시합니다. FabGuard AS는 엔지니어에게 탐지하기 어려운 결함을 드러내는 강력한 도구 상자를 제공합니다.

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