センサー&フィードスルー

スパッタリングセンサー

Sputtering-Sensor

Product configurator

Gemini™ MxG5xx

Type
Sensor version
Ionization chamber
Emmision current
Flange connection to vacuum chamber
Switching function
Electrical connection
Digital interface
Analog output signal
Your configuration
inficon-gauge
Gemini™ MxG5xx
Flange
DN 16 ISO-KF
Switching functions
None
Electrical Connection
FCC, 8-pin
Digital Interface
None
Measurement range
1.2 - 8.68 V
Request
Personal information
Product
inficon-gauge
Gemini™ MxG5xx
Gemini™ MAG500
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INFICONのスパッタリングセンサはあらゆるスパッタリングプロセスで使用できるように特別に設計されています。センサー本体と冷却チューブは金メッキのベリリウム銅で、スパッタリング環境において最高の冷却効果を発揮します。センサーヘッドに組み込まれた磁石が、スパッタリングシステムで発生する高エネルギーの自由電子を外部磁場でそらせることにより、過熱を防ぎます。後方搭載の振動子ホルダー設計により、システムからセンサーヘッドを取り外さなくても、振動子の交換を簡単に行えます。

機能

  • 金メッキされたベリリウム銅センサー本体と冷却チューブが冷却効果を最大化
  • 磁石により自由電子をモニター振動子からそらす
  • 水チューブは曲げられて取り付けが簡単、センサー交換も柔軟に行える
  • 振動子挿入は背面から行うので、取り替えが簡単

仕様

水なしでの最高ベークアウト温度105°C
最小水流での最大動作等温環境温度400° C
振動子交換Rear-loading
磁石ALNICO 5 Alloy
仕様の詳細はこちらからダウンロードできます。

品番

Part NumberDescription
750-618-G1Sputtering Sensor (sensor only, feedthrough not included)
アクセサリー
消耗品
スペアパーツ
NameDescription
QCM Sensor Feedthroughs

QCM Sensor Feedthroughs

 

Sputtering Sensor
Part NumberDescription
750-420-G1Solenoid Valve, 24V (for use with shuttered and multi-crystal sensors)
NameDescription
Quartz Monitor CrystalsQuartz Monitor Crystals
Sputtering Sensor
Part NumberDescription
007-023Ceramic Retainer
007-049Crystal Holder, Sputtering Sensor
007-007Retainer spring (for crystal holder)
007-047Sputtering head cover with water lines
007-009Magnet for sputtering head cover
070-0440Retaining ring (installs onto shaft of shutter assembly)
070-0442Retaining ring (installs onto shaft of shutter assembly)
070-0441Spacer (installs onto shaft of shutter assembly)
082-044Teflon screw (for leaf spring)
082-029-P12-56 x 1/8 in. set screw for 750-619-G1 sputtering head body
750-009-P2Pivot cover (installs onto shaft of shutter assembly)
750-046-G2Shutter assembly for pneumatic shutter assembly
750-048-P1Retainer spring for 007-048 and 751-619-G1 sputtering head bodies
750-115-P4Coupling (installs onto bellows assembly)
750-169-P4Bellows assembly for pneumatic shutter assembly
750-174-P2Female coax
750-175-P1Insulator (underneath leaf spring)
008-007CRYSTAL SNATCHER
750-188-P3Leaf Spring
750-619-G1Sputtering head body with coax connector
750-626-P1

Spring for sputtering head cover

 

In-vacuum cables 
321-039-G12In-vacuum cable, 15.2 cm (6 in.)
007-252In-vacuum cable, 30.5 cm (12 in.)
321-039-G11In-vacuum cable, 61.0 cm (24 in.)
007-044In-vacuum cable, 78.1 cm (30.75 in.)
007-059In-vacuum cable, 91.4 cm (36 in.)
007-061In-vacuum cable, 121.9 cm (48 in.) - Requires ModeLock controller
321-039-G13In-Vacuum Cable, 154.2 cm (60 in.) - Requires ModeLock controller
321-039-G14In-vacuum cable, 182.9 cm (72 in.) - Requires ModeLock controller
321-039-G15In-vacuum cable, 3.5 m (137.8 in.) - Requires ModeLock controller and 4 m XIU
321-039-G16In-vacuum cable, 4 m (157.5 in.) - Requires ModeLock controller and 4 m XIU
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