質量分析計
Transpector® CPM
モバイルトラブルシューティングのための内蔵型カート
Product configurator
Gemini™ MxG5xx
Type
Sensor version
Ionization chamber
Emmision current
Flange connection to vacuum chamber
Switching function
Electrical connection
Digital interface
Analog output signal
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INFICONのMobile Cartは、Transpector CPM (コンパクトプロセスモニター) を可動型トラブルシューティングの装置にします。内蔵型カートが、様々な装置の高さに合わせた柔軟性を持ち、システムを装置から装置へ移行させます。このメカニカルアームによって、サンプリングシステムは、ねじったり、回転させたり、Mobile Cartを狭い製造スペースにぴったり合わせるように垂直に動いたりすることが可能です。
機能
- スマートな接地面積-Mobile Cartのオープンな構造が、肘のようにアームをサポートすることで、貴重な足元スペースをとらずにRGAを装置に密結合させることが可能
- 完全なシステム-Mobile CartはTranspector CPMシステムやデスクトップ/ラップトップコンピュータを運び、支えます。さらに圧縮空気、窒素、排気、CPMシステムの電力用のコネクションパネルもあります。
- 120と 230 VAC バージョンあり
利点
- 柔軟性-Transpector CPMを水平や垂直に動かしたり、システムを回転させたりする機能によって、CPMを装置や真空システムの近くに移動させることが可能
品番
| Mobile Cart for CPM 120V | |
| Part Number | Description |
| 919-501-G3 | Mobile Cart for CPM 120V
|
| Mobile Cart for CPM 230V | |
| Part Number | Description |
| 919-501-G4 | Mobile Cart for CPM 230V |
本製品は以下のマーケットで使用されています。
