質量分析計

QMG 700

質量分析器

検出限界を超える優れた安定性と改善された分析半導体製造技術の急速な発展は、迅速で信頼性の高い分析ソリューションに基づいています。製造現場でもラボでも、INFICON QMG 700 Analytical Mass Spectrometerを選べば、検出の問題を克服し、お客様のプロセスをイノベーションの新たなレベルへと高めることができます。QMG 700は、モジュラー設計で、比類ない性能と柔軟性を提供します。競争力をQMG 700によって強化し、高水準の計測機能を実現してください。

幅広いイオンソース、質量フィルタおよびRF電源オプションから選択して、QMG 700をお客様固有の用途に合わせてカスタマイズすることができます。QMG 700は、9桁以上ものダイナミックレンジとppbレベルの検出限界を持ち、超高真空計測の理想的な機器となっています。QMG 700は、その質量範囲全体にわたって単位分解能を提供します。低質量ではさらに高い分解能を誇ります。この機器は、ヘリウムと重水素の分離など、アイソトープ分析を含む最も難しい計測についても優れたオプションとなっています。QMG 700を使用してお客様のプロセスをコントロールし、クリティカルな計測を保護できる、QMG 700の優れた長期安定性をご信頼ください。

INFICONの40年以上にわたる質量分析法における卓越した経験を通して、QMG 700がガス分析への次の投資として最適の選択肢であることをお約束します。一貫した精度で正確な結果を得るため、INFICON QMG 700と当社の全世界におよぶアプリケーションサポートご活用ください。

機能

質量レンジは1-512 amuから選択可能
90年以上のダイナミックレンジ
極めて高速な測定速度 0.125 ms/amu
MDPP < 10E-16 mbar
全質量域で高い分解能を実現質量1、2、3はppbレンジで明確に分離可能
複数のイオン源オプション
ディスクリートまたは連続ダイノード電子マルチプライヤーオプション
IOオプション：アナログ入力/出力8点、デジタル入力/出力32点
柔軟でユーザーフレンドリーなインターフェイスを持つ強力なソフトウェア

標準的なアプリケーション

ガス放出質量分析器
終点の検出
蒸着物質監視
二次的イオン質量分析器

仕様

QMA 400

QMA 410

QMA 430

質量範囲	1-512 amu (1)

センサー長	441.5 mm

ロッド直径	8 mm

ロッド物質	Molybdenum

フランジ	DN 63 CF-F

検出器タイプ	Faraday/SEV 217

最大動作圧力（FC）	1 E-4 mbar

最大動作圧力（EM）	1 E-5 mbar

感度	5 E-4 A/mbar

検出可能な最小粒子圧力	1 E-15 mbar

分解能（調整可能）	0.3 - 7 amu

部分圧比率	< 0.5 ppb

最大動作温度センサー	150 °C

最高ベークアウト温度	400 °C

最大動作温度電子機器	40 °C

測定速度	0.125 ms - 60 s/amu

電源	100 - 240 VAC
(1) QMA400は以下の質量範囲にご利用いただけます。 1-512 amu。 QMA 400 の仕様は、512 amuの質量範囲、クロスビームイオン源システム構成に基づいています。
(2) QMA 410は以下の質量範囲にご利用いただけます。1-128amu。 QMA 410 の仕様は; amuの質量範囲、クロスビームイオン源システム構成に基づいています。

質量範囲	1-340 amu (2)

センサー長	548 mm

ロッド直径	16 mm

ロッド物質	Molybdenum

フランジ	DN 100 CF-F

検出器タイプ	Faraday/SEV 217

最大動作圧力（FC）	1 E-4 mbar

最大動作圧力（EM）	1 E-5 mbar

感度	1 E -3 A/mbar

検出可能な最小粒子圧力	5 E-16 mbar

分解能（調整可能）	0.2 - 2.2 amu

部分圧比率	< 0.5 ppb

最大動作温度センサー	150 °C

最高ベークアウト温度	400 °C

最大動作温度電子機器	40 °C

測定速度	0.125 ms - 60 s/amu

電源	100 - 240 VAC
(1) QMA400は以下の質量範囲にご利用いただけます。 1-512 amu。 QMA 400 の仕様は、512 amuの質量範囲、クロスビームイオン源システム構成に基づいています。
(2) QMA 410は以下の質量範囲にご利用いただけます。1-128amu。 QMA 410 の仕様は; amuの質量範囲、クロスビームイオン源システム構成に基づいています。

質量範囲	1-300 amu

センサー長	441.5 mm

ロッド直径	8 mm

ロッド物質	Stainless Steel

フランジ	DN 63 CF-F

検出器タイプ	Faraday/SEV 217

最大動作圧力（FC）	1 E-4 mbar

最大動作圧力（EM）	1 E-5 mbar

感度	2 E-4 A/mbar

検出可能な最小粒子圧力	1 E-15 mbar

分解能（調整可能）	0.3 - 7 amu

部分圧比率	< 0.5 ppb

最大動作温度センサー	150 °C

最高ベークアウト温度	400 °C

最大動作温度電子機器	40 °C

測定速度	0.125 ms - 60 s/amu

電源	100 - 240 VAC
(1) QMA400は以下の質量範囲にご利用いただけます。 1-512 amu。 QMA 400 の仕様は、512 amuの質量範囲、クロスビームイオン源システム構成に基づいています。
(2) QMA 410は以下の質量範囲にご利用いただけます。1-128amu。 QMA 410 の仕様は; amuの質量範囲、クロスビームイオン源システム構成に基づいています。

品番

QMA 400

QMA 410

QMA 430

490-715	QMA 400 with Grid Ion Source
450-119	Deckplatte kpl. DMM spez.
490-601	QMA 400 for PPM 422 standard
490-700	QMA 400 with Axial Ion Source
490-701	QMA 400 with Crossbeam
490-702	QMA 400, SEM 217, Crossbeam, Yt

490-810	QMA 410 with Axial Ion Source
490-812	QMA 410,16mm Mo,217, W, CB-GT
490-817	QMA 410, SEM 217, crossbeam, Yt
490-821	QMA 410 Quadrup.-Analysator
490-830	QMA 410 mit CB-IQ mit Magn.,SEV218

490-901	QMA 430 mit CB-IQ, Faraday
490-910	QMA 430 with Axial-IQ, 90° SEV217
490-913	QMA 430 with Grid Ion Source
490-914	QMA 430 grid Ion Source, vac.-annealed
490-916	QMA 430, CB-IQ without SEV217
490-917	QMA 430 with CB Ion source, Gas Tight
490-918	QMA 430, CB Ion Source without SEV217
490-943	QMA 430, SEM 217, Crossbeam, YT