FabGuard® Integrierter-Prozess-Monitor (IPM)
Prozessspezifische Geräteverwaltung
Product configurator
Gemini™ MxG5xx
INFICON Sensor Integration and Analysis Systems bietet Prozessüberprüfung und -steuerung für die Prozessoptimierung, einschließlich Durchlauf-zu-Durchlauf-Steuerung wichtiger Prozessparameter. Außerdem liefert sie direktes automatisches Feedback über erkannte Fehler und mögliche Fehlerursachen an Prozessgeräte oder an einen Prozesstechniker.
Das FabGuard-Sensor Integration and Analysis System erfasst Daten von lokalen Sensoren, integriert diese in Daten der Prozessgeräte und verdichtet und analysiert die zusammengestellten Daten, um den Prozesstechniker mit umsetzbaren Informationen zu versorgen. Wahlweise kann FabGuard so konfiguriert werden, dass es Steuerungsbefehle direkt an die Prozessgeräte sendet.
Leistungsstarke Datenverwaltung für erhöhte Produktivität
Ziehen Sie Vorteile aus Ihren Fertigungsdaten. Das FabGuard-Sensor Integration and Analysis System steigert die Geräteproduktivität durch Bereitstellung von Prozesssteuerung und verringert Verluste durch Prozessabweichungen, Verunreinigungen, Gerätestörungen oder unnötige Testwafer.
FabGuard überwacht und steuert Ihre Prozesse kontinuierlich. Zunächst sammelt FabGuard automatisch alle verfügbaren Daten der INFICON-Sensoren und der integrierten Sensoren der Geräte. Diese Daten werden gespeichert, und die Analyseergebnisse werden in einer durchsuchbaren SQL-Datenbank abgelegt. Diese Informationen können mithilfe einer einzigen, konsistenten und einfach zu bedienenden Benutzeroberfläche angezeigt werden. FabGuard analysiert die Daten anschließend mithilfe von hoch entwickelten physikalischen Modellen und statistischen Methoden und sucht dabei nach Korrelationen zwischen einer Vielzahl von Parametern. Außerdem wird der Prozess im Sekundenabstand mit einem Modell verglichen, das aus früheren Durchläufen entwickelt wurde. Mithilfe dieser robusten Techniken kann FabGuard zuverlässig Prozessereignisse erkennen. Diese können für die Prozesssteuerung verwendet werden, um Abweichungen schnell zu erkennen und deutlich weniger Fehlalarme auszulösen.
Verwalten Sie Ihre Prozesse, ein Gerät oder Ihre gesamte Werksumgebung. Die fortschrittliche Datenanalyse von FabGuard bietet zuverlässige Informationen, mit denen die Prozesssteuerung durch ereignisbasierte Techniken (z. B. Endpunkterkennung), Go/No-Go-Techniken und statistische Prozesssteuerung, Durchlauf-zu-Durchlauf-Steuerung, Echtzeit-Fehlererkennung und Änderungen an laufenden Prozessen erweitert werden kann. Dies führt zu stabileren Prozessen und schnellerer Problemerkennung, ohne dass intensiv Testwafer eingesetzt werden müssen oder die Konfigurationsdauer ansteigt, was zu höheren Ausbeuten führt.
Merkmale
- Durchlauf-zu-Durchlauf- und Echtzeit-Analyse für Prozesssteuerung und Fehlersuche reduziert den Ausschuss und verbessert die Prozesssteuerung.
- Die automatisierte Datenerfassung und -speicherung für historische Dateien dient der Erweiterung von statistischen Prozesssteuerungsdaten, die von verschiedenen Sensoren stammen. Dies verringert Hardwareredundanzen, während sämtliche Daten von Prozess- oder Fertigungsgeräten für einfachen Zugriff und problemlose Analysen integriert werden können.
- Eine einzige Benutzeroberfläche für sämtliche Gerätedaten reduziert die Lernkurve.
- Klassifizierung von Fehlern zur schnellen Reaktion auf Probleme verringert Ausfallzeiten.
- Allgemeine Übersicht über die Integrität der Geräte und Prozesse zur Unterstützung vorbeugender Wartungsarbeiten
