FabGuard® Tool Recipe Management (RMS)
Helps Semiconductor, Display and Solar manufacturers meet these challenges by providing central archival and management of process equipment recipes.
Product configurator
Gemini™ MxG5xx
工具配方综合管理
提高生产复杂性和要求以更好地控制过程要求更好的集成和管理。FDC 与工厂自动化和设备控制的无缝集成对于准确地预防入侵以及严格地控制工厂设备的运行至关重要。
FabGuard™ 配方管理系统可通过提供过程设备配方中央存档和管理功能帮助半导体、显示屏和太阳能产品制造商应对这些挑战。作为 FabGuard 故障检测和分类系统的附加装置，FabGuard FG-RMS 可扩展现有的 FabGuard 系统，以包含在整个工厂中管理工具过程配方所需的功能。
集中管理提高生产率
FabGuard 可利用相似的强大 FabGuard 基础架构对工具过程配方进行集中管理。工程师可以从自己的桌面或工厂中的任何 PC 查看、编辑、部署和管理过程配方。通过集中访问过程配方，工程师现在可向相同配方指定多种工具，尽可能减少过程配方的总数，并缩短在工具上手动更改配方所需的时间。工程师可以编辑指定到多个腔室的单个配方，并立即部署更改，或在下次自动化功能请求下载时部署。
存档和修订控制
在配方管理系统中，需要实施修订控制且部署前必须签字批准。作为 FabGuard 集中化策略的组成部分，FabGuard 可对任何更改、签字批准机制、修订控制和执行回滚的功能进行审核。
当从工具上传新黄金配方或在 FabGuard RMS 中修改现有的黄金配方时，系统将备份旧修订，并可使新配方在批准之前不可用。这样可控制配方部署，有助于确保配方在部署之前得到审核和验证。
通过自动化功能控制配方下载和删除
许多半导体过程工具都有上传和调整过程配方的定制方法。FabGuard RMS 通过控制对工具的定制交互并向工厂提供用于控制上传、下载和验证的标准消息集，提供了将此功能集成到现有工厂自动化功能中的标准消息交流结构。这样可简化总体配方，确保由工厂设备集成团队整体控制自动化功能。
配方验证
通过扩展 FabGuard 配方验证功能，FabGuard 让工程师能够利用配方管理系统中的黄金副本手动或自动验证工具上的配方。在很多情况下，由于删除和替换操作的时间限制，配方可能无法从设备上删除。对于这些情况，可以执行自动化或手动调用的验证。这通过自动化功能或内部 FabGuard 触发器发出的 SECS 请求完成。在这两种情况中，都从工具下载配方，并在空闲期内或在即将使用该配方之前对照黄金副本进行验证。
功能
- Custom tool messaging as required by specific tool types
- Central repository for process recipes
- The same golden recipe can be shared across tools/chambers
- Automated or manual recipe verification
- Online editing of non-encoded recipes
