电容式真空计

 从0.01Torr毫托到2000Torr托的精密真空测量

准确率(%)
< 0.05 0.05 - 0.2 > 0.2 - 1
传感器温度
周围的 45 °C 100 °C 160 °C 200 °C
数字接口
EtherCAT PROFINET DeviceNet PROFIBUS DP
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