电容式压力计

Stripe® CDG100Dhs

100°C温控,满量程0.1 ... 1000 Torr / mbar

Stripe-CDGxxx

Product configurator

Gemini™ MxG5xx

Type
Sensor version
Ionization chamber
Emmision current
Flange connection to vacuum chamber
Switching function
Electrical connection
Digital interface
Analog output signal
Your configuration
inficon-gauge
Gemini™ MxG5xx
Flange
DN 16 ISO-KF
Switching functions
None
Electrical Connection
FCC, 8-pin
Digital Interface
None
Measurement range
1.2 - 8.68 V
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Product
inficon-gauge
Gemini™ MxG5xx
Gemini™ MAG500
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INFICON Stripe 高速电容式隔膜真空计目前是最快速、高度准确的真空测量仪器。响应时间不到 2 ms,配备 EtherCAT 现场总线接口,开拓了全新的应用领域。成熟的控温、防腐蚀、超纯陶瓷传感器能长期提供出众的量程稳定性,而且具有无与伦比的零位稳定性。Stripe 随附 INFICON 已获专利的独特传感器屏蔽,用于保护真空计,使其免受不需要的过程副产品的影响。INFICON Stripe 使用创新的加热概念,提供冰凉的接触表面和独特的速度性能, 可实现提升史无前例的生产力, 使其成为同类产品中最先进的真空仪器。

好处

  • 高生产力 - 响应时间快于 2 ms
  • 灵活集成 - EtherCAT 现场总线
  • 使用寿命长 - 经验证的陶瓷传感器
  • 忘记重新校准 - 90ppm/年全方位稳定性

典型应用

  • 原子层沉积
  • 高速过程控制
  • PVD、CVD、蚀刻
  • 一般高温真空应用

技术规格

1000 ... 500 Torr / mbar
200 ... 1 Torr / mbar
0.5 ... 0.1 Torr / mbar
精度 % of reading0.2
分辨率percent FS0.003
输出信号(模拟)V (dc)0 … +10
反应时间 ms2 ... 20
暴露于真空的材料 Aluminum oxide ceramic (AI2O3), stainless steel (AISI 316L)
精度 % of reading0.2
分辨率percent FS0.003
输出信号(模拟)V (dc)0 … +10
反应时间 ms2 ... 20
暴露于真空的材料 Aluminum oxide ceramic (AI2O3), stainless steel (AISI 316L)
精度 % of reading0.4
分辨率percent FS0.003
输出信号(模拟)V (dc)0 … +10
反应时间 ms2 ... 20
暴露于真空的材料 Aluminum oxide ceramic (AI2O3), stainless steel (AISI 316L)
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