电容式压力计

SKY® CDG025D-X3

全量程 0.1 ... 1000 Torr / mbar

Sky CDG025D

Product configurator

Gemini™ MxG5xx

Type
Sensor version
Ionization chamber
Emmision current
Flange connection to vacuum chamber
Switching function
Electrical connection
Digital interface
Analog output signal
Your configuration
inficon-gauge
Gemini™ MxG5xx
Flange
DN 16 ISO-KF
Switching functions
None
Electrical Connection
FCC, 8-pin
Digital Interface
None
Measurement range
1.2 - 8.68 V
Request
Personal information
Product
inficon-gauge
Gemini™ MxG5xx
Gemini™ MAG500
Your configuration has been successfully sent!

INFICON SKY CDG025D 电容式隔膜真空计系列的高精度、温度补偿型压力计,可以在恶劣的生产加工环境中提供稳定的性能。高级数字电子元件可提高仪表性能, 且易操作, 例如一键归零功能和设定点调整。防腐蚀超纯陶瓷传感器提供优异的零位稳定性(包括气压突变的情况),预期使用寿命长达数百万次压力循环。独有的传感器屏蔽(专利申请中)可防止仪表被过程污染。坚固的机械设计和数字电子元件可以改进电磁兼容性 (EMC)、长期稳定性和温度补偿。CDG025D 为开机后快速稳定以及从气压中快速恢复的功能树立了新的标准。

好处

  • 从 100 mTorr 至 1000 Torr 的满刻度量程
  • 电源接通后快速稳定
  • 暴露于大气压后快速恢复
  • 防腐蚀陶瓷传感器
  • 卓越的长期信号稳定性
  • 温度补偿
  • 传感器受双重防污染保护
  • 一键调零功能
  • 宽范围电源
  • 2个设定点
  • RS232 接口
  • 无尘室合规

典型应用

  • 用于蚀刻、CVD、PVD 和 ALD 的半导体制造设备
  • 数据存储和显示器制造设备
  • 工业真空设备
  • 经济、高度精确的压力测量

技术规格

1000 Torr / 1100 mbar
500 ... 10 Torr / mbar
1 Torr / mbar
0.25 Torr
0.1 Torr / mbar
精度 % of reading0.2
分辨率percent FS0.003
输出信号(模拟)V (dc)0 … +10
反应时间 ms30
暴露于真空的材料 Aluminum oxide ceramic (AI2O3), stainless steel (AISI 316L)
精度 % of reading0.2
分辨率percent FS0.003
输出信号(模拟)V (dc)0 … +10
反应时间 ms30
暴露于真空的材料 Aluminum oxide ceramic (AI2O3), stainless steel (AISI 316L)
精度 % of reading0.2
分辨率percent FS0.003
输出信号(模拟)V (dc)0 … +10
反应时间 ms30
暴露于真空的材料 Aluminum oxide ceramic (AI2O3), stainless steel (AISI 316L)
精度 % of reading0.25
分辨率percent FS0.003
输出信号(模拟)V (dc)0 … +10
反应时间 ms130
暴露于真空的材料 Aluminum oxide ceramic (AI2O3), stainless steel (AISI 316L)
精度 % of reading0.5
分辨率percent FS0.003
输出信号(模拟)V (dc)0 … +10
反应时间 ms130 / 30 (3)
暴露于真空的材料 Aluminum oxide ceramic (AI2O3), stainless steel (AISI 316L)
在此下载完整的规格
该产品被用于以下市场
Analytical-Instrumentation-Navi
分析仪器

分析仪器市场为广大用户提供高度复杂的分析工具,涵盖不同应用场景和市场。INFICON与那些拥有最先进技术的制造商合作,帮助分析和识别最小的结构或元素组成,无论是气体、液体还是固体均在其适用范围内。

了解更多
Battery-Market-Navi
电池

从电极生产到生产线终端EOL终端的测试

了解更多
Display-Navi
显示器

INFICON汇聚尖端科技,实现最高质量的显示器产品

了解更多
energy-market-navi
能源

传统的石油和天然气生产在过去几十年中出现了需求的增长,并被发展中国家的人口增长、城市化和中产阶级的消费所推动。

了解更多
HVACR-Navi
暖通空调/制冷

制冷和空调技术无疑是21世纪的重要课题之一。技术的有效性、能源效率以及最后但同样重要的最佳温度或最适气候(针对私人以及商业领域)非常重要。

了解更多
Industrial-Manufacturing-Navi-2
工业制造

其中,真空技术大多用于保证清洁的环境,并且在某些过程中需要维持真空以确保过程顺利实施。

了解更多
Mobility_and_Automotive-Navi
移动和汽车

在一个不断发展的行业中进行可靠的泄漏测试 。 汽车行业的变化使泄漏检测变得更加重要。

了解更多
Pharma_and_Medical-Navi
医药和医疗

提高生产力,帮助满足制药业的合规标准和质量要求 

了解更多
Research-and-Academia-Navi
研究与学术

通过基础研究揭开宇宙最深层的神秘面纱。今天的创新为您明天的技术研发提供动力

了解更多
Semiconductur-IDM-and-Foundry-Navi
半导体IDM和晶圆代工厂

为支持广泛的应用而定制的传感器,确保产品安全、提高产量和最高生产力。

了解更多
Vacuum_Coating-Navi
真空镀膜

真空镀膜市场远远超出了光学领域,正在迅速扩展到十年前几乎无法想象的领域、行业和薄膜层。

了解更多
我们需要您的视频内容同意
更多信息