冷阴极真空计

MPG40X

大气压至超高真空真空计

MPG40x

Product configurator

Gemini™ MxG5xx

Type
Sensor version
Ionization chamber
Emmision current
Flange connection to vacuum chamber
Switching function
Electrical connection
Digital interface
Analog output signal
Your configuration
inficon-gauge
Gemini™ MxG5xx
Flange
DN 16 ISO-KF
Switching functions
None
Electrical Connection
FCC, 8-pin
Digital Interface
None
Measurement range
1.2 - 8.68 V
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Product
inficon-gauge
Gemini™ MxG5xx
Gemini™ MAG500
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INFICON 倒泵控管 Pirani 真空计 MPG400 和 MPG401 测量范围为 5 x 10-9 mbar 至大气压力(3.8 x 10-9 Torr 至大气压力)。将多项技术融入带有一个对数模拟输出信号的单个紧凑型装置中,显著降低了安装、设置和集成的复杂性。

好处

  • 复合真空计 – 倒磁控管和皮拉尼
  • 从 5 X 10-9 mbar 至大气气压的宽广测量范围
  • 不会出现丝极烧毁的现象
  • 卓越的点火属性
  • 易于清洁
  • FPM 或金属密封馈入装置
  • LED 指示器,高压时亮起
  • 对数模拟输出信号

典型应用

  • 高真空压力监控
  • 蒸发镀溅系统基本压力
  • 中真空和高真空范围内的一般真空测量和控制

规格

MPG400 FPM sealed
MPG401 metal-sealed
测量范围(空气,N2mbar
Torr
5 x 10-9 … 1000
3.8 x 10-9 … 760
精度 (N2)  
1 x 10-8 … 100 mbar% of reading≈±30%
Repeatability  
1 x 10-8 … 100 mbar% of reading≈±5%
容许温度  
运行(环境)°C+5 … +55
贮存°C–40 … +65
烘烤 (1)°C150
电源电压  
真空计上V (dc)+15 … +30
缆线最长的电源装置 (2)V (dc)+16 … +30
波纹V (p-p)≤1
功耗W≤2
暴露于真空的材料 stainless steel, Al2O3, FPM75, Mo, Ni, Au, W
   
(1) 没有电子元件和磁屏蔽。
(2) 电源单元的最小电压必须与传感器电缆的长度成比例地增加。
测量范围(空气,N2mbar
Torr
5 x 10-9 … 1000
3.8 x 10-9 … 760
精度 (N2)  
1 x 10-8 … 100 mbar% of reading≈±30%
Repeatability  
1 x 10-8 … 100 mbar% of reading≈±5%
容许温度  
运行(环境)°C+5 … +55
贮存°C–40 … +65
烘烤 (1)°C150
电源电压  
真空计上V (dc)+15 … +30
缆线最长的电源装置 (2)V (dc)+16 … +30
波纹V (p-p)≤1
功耗W≤2
暴露于真空的材料 stainless steel, Al2O3, Ag, Cu, Sn, Mo, Ni, Au, W
   
(1) 没有电子元件和磁屏蔽。
(2) 电源单元的最小电压必须与传感器电缆的长度成比例地增加。
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Part Number
Accessories
Spare Parts
MPG400 FPM sealed
Part NumberDescription
351-010MPG400 FPM sealed, DN 25 ISO-KF
351-011MPG400 FPM sealed, DN 40 ISO-KF
351-012MPG400 FPM sealed, DN 40 CF-F
  
MPG401 metal-sealed
Part NumberDescription
351-020MPG401 metal sealed, DN 25 ISO-KF
351-021MPG401 metal sealed, DN 40 ISO-KF
351-022MPG401 metal sealed, DN 40 CF-F
351-023Magnetic shield
MPG400 FPM sealed
Part NumberDescription
351-023Magnetic shield
  
MPG401 metal-sealed
Part NumberDescription
351-023Magnetic shield
MPG400 FPM sealed
Part NumberDescription
BN846469-TSpare measurement system MPG400
  
MPG401 metal-sealed
Part NumberDescription
BN846472-TReplacement meas. unit MPG401 DN25 KF
  
MPG400 FPM sealed
Part NumberDescription
BN846470-TSpare measurement system MPG400 DN40 KF
  
MPG401 metal-sealed
Part NumberDescription
BN846473-TReplacement meas. unit MPG401 DN40 KF
  
MPG400 FPM sealed
Part NumberDescription
BN846471-TSpare measurement system MPG400 DN40CF-F
  
MPG401 metal-sealed
Part NumberDescription
BN846474-TSpare meas. system, MPG401 DN40CF-F
  
MPG400 FPM sealed
Part NumberDescription
351-994MPG40x Ignition tool set
  
MPG401 metal-sealed
Part NumberDescription
351-994MPG40x Ignition tool set
  
MPG400 FPM sealed
Part NumberDescription
351-995MxG40x/50x Spare parts ignition aid (10)
  
MPG401 metal-sealed
Part NumberDescription
351-995MxG40x/50x Spare parts ignition aid (10)
  
MPG400 FPM sealed
Part NumberDescription
351-998MPG400 Repair set.
  
MPG401 metal-sealed
Part NumberDescription
351-996MPG401 Repair set
  
MPG400 FPM sealed
Part NumberDescription
351-999MPG400 Maintenance set
  
MPG401 metal-sealed
Part NumberDescription
351-997MPG401 Maintenance set
该产品被用于以下市场
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分析仪器

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