冷阴极真空计
Gemini™ MxG5xx
大气压至超高真空真空计
Product configurator
Gemini™ MxG5xx
Type
Sensor version
Ionization chamber
Emmision current
Flange connection to vacuum chamber
Switching function
Electrical connection
Digital interface
Analog output signal
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INFICON Gemini™ 倒置磁控真空计是所有真空测量应用(专利申请中)的动力源泉。Gemini MPG50x将两个传感器系统组合在一个小型设备中,用于从大气测量低至1x10–9毫巴,而Gemini MAG50x是一个纯冷阴极传感器系统(不含Pirani元件),覆盖范围从1x10-2毫巴至1x10-9毫巴。获得专利的超低杂散磁场设计为全新的应用领域开启了大门。独特的可互换式双室传感器单元不用清洗并减少了维护,这使使Gemini成为同类产品中最坚稳和经济的真空计。
Gemini冷阴极和组合真空计配备了完全集成的数字电子设备,使系统集成具有很强的灵活性。冷阴极和皮拉尼组合选项提供了跨越多个应用领域的无缝转换、可靠性、实用性和灵活性。
MAG和MPG Gemini现在可提供EtherCAT现场总线和MAG55x和MPG55x设定点。
优势
- 在恶劣环境下,使用寿命长
- 低杂散磁场
- 零维护 - 可换插头
- 超紧凑尺寸
- 抗腐蚀馈入装置
- 可选测量电流
- 2个继电器设定点(与MxG55x EtherCAT版本配合使用)
- EtherCAT和RS232/RS485数字接口
典型应用
- 在蒸发和溅射涂层应用中从大气到高真空基本压力监测和控制。
- 一般真空测量 - 工业炉、建筑玻璃、半导体、冰箱和空调。
- 分析和研发应用 – 质谱分析、电子显微镜、医疗、眼科、光学和高能物理。
技术规格
MAG5xx
MPG5xx
测量范围(空气、氮气) | mbar Torr | 1×10-9 … 1×10-2 (7.6×10-10 … 7.6×10-3) |
准确度 (N2) | ||
1×10-8 … 1×10-2 毫巴 | % of reading | 30 |
1×10-2 … 100 毫巴 | % of reading | - |
100 … 1000 毫巴 | % of reading | - |
可重复性 (N2) | ||
1×10-8 … 1×10-2 毫巴 | % of reading | 5 |
1×10-8 … 100 毫巴 | % of reading | - |
容许温度 | ||
运行(环境) | °C | +5 ... +55 |
法兰烘烤 (1) | °C | <150 |
储存 | °C | -40 ... +70 |
灯丝温度 | °C | - |
供电电压 | ||
在量规 (2) | V (dc) | +14.5 ... +30 |
波纹 | V (p-p) | <1 |
功耗 | W | <2 |
待连接的保险丝 | AT | <1 |
(1)没有电子元件。 (2)电源单元的最小电压必须与传感器电缆的长度成比例地增加。 |
测量范围(空气、氮气) | mbar Torr | (7.6×10-10 … 760) 1×10-9 … 1×10-2 |
准确度 (N2) | ||
1×10-8 … 1×10-2 毫巴 | % of reading | 30 |
1×10-2 … 100 毫巴 | % of reading | 30 |
100 … 1000 毫巴 | % of reading | 50 |
可重复性 (N2) | ||
1×10-8 … 1×10-2 毫巴 | % of reading | - |
1×10-8 … 100 毫巴 | % of reading | 5 |
容许温度 | ||
运行(环境) | °C | +5 ... +55 |
法兰烘烤 (1) | °C | <150 |
储存 | °C | -40 ... +70 |
灯丝温度 | °C | 120 |
供电电压 | ||
在量规 (2) | V (dc) | +14.5 ... +30 |
波纹 | V (p-p) | <1 |
功耗 | W | <=3 |
待连接的保险丝 | AT | <1 |
(1)没有电子元件。 (2)电源单元的最小电压必须与传感器电缆的长度成比例地增加。 |
法兰盘类型
零部件
MAG5xx | |
零件编号 | 描述 |
211-098 | Centering ring with fine filter DN 25 KF |
351-550 | MxG50x Ignition tool set |
211-113 | Centering ring with baffle DN 25 KF |
353-512 | Baffle for BPG400
|
MPG5xx | |
零件编号 | 描述 |
211-098 | Centering ring with fine filter DN 25 KF |
351-550 | MxG50x Ignition tool set |
211-113 | Centering ring with baffle DN 25 KF |
353-512 | Baffle for BPG400 |
MAG5xx | |
零件编号 | 描述 |
351-500 | MAG500 spare sensor, 25KF, SS |
351-556 | Spare ion chamber ti |
351-512 | MAG500 spare sensor, 40KF, SS |
351-536 | MAG500 spare sensor, 40CF-R, SS |
351-524 | MAG500 spare sensor, 40CF-F, SS |
351-502 | MAG500 spare sensor, 25KF, TI |
351-514 | MAG500 spare sensor, 40KF, TI |
351-538 | MAG500 spare sensor, 40CF-R, TI |
351-526 | MAG500 spare sensor, 40CF-F, TI |
351-501 | MAG504 spare sensor, 25KF, SS |
351-513 | MAG504 spare sensor, 40KF, SS |
351-537 | MAG504 spare sensor, 40CF-R, SS |
351-525 | MAG504 spare sensor, 40CF-F, SS |
351-503 | MAG504 Ersatzsensor, 25KF, TI |
351-515 | MAG504 spare sensor, 40KF, TI |
351-539 | MAG504 spare sensor, 40CF-R, TI |
351-527 | MAG504 spare sensor, 40CF-F, TI |
351-995 | MxG40x/50x Spare parts ignition aid (10) |
351-555 | Spare ion chamber ss
|
MPG5xx | |
零件编号 | 描述 |
351-506 | MPG500 spare sensor, 25KF, SS |
351-518 | MPG500 spare sensor, 40KF, SS |
351-542 | MPG500 spare sensor, 40CF-R, SS |
351-530 | MPG500 spare sensor, 40CF-F, SS |
351-508 | MPG500 spare sensor, 25KF, TI |
351-520 | MPG500 spare sensor, 40KF, TI |
351-544 | MPG500 spare sensor, 40CF-R, TI |
351-532 | MPG500 spare sensor, 40CF-F, TI |
351-507 | MPG504 SS,LC,9DSub,25KF |
351-519 | MPG504 spare sensor, 40KF, SS |
351-543 | MPG504 spare sensor, 40CF-R, SS |
351-531 | MPG504 spare sensor, 40CF-F, SS |
351-509 | MPG504 spare sensor, 25KF, TI |
351-521 | MPG504 spare sensor, 40KF, TI |
351-545 | MPG504 spare sensor, 40CF-R, TI |
351-533 | MPG504 spare sensor, 40CF-F, TI |
351-995 | MxG40x/50x Spare parts ignition aid (10) |
351-555 | Spare ion chamber ss |
351-556 | Spare ion chamber ti |
零件编号
下载
样册
手册
TIRB38E1_Mx55x_Communication protocol EtherCAT_New Generation
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1,1 MB
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英文
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操作手册
TIRA83E1_MxG5xx_Communication protocol RS232_RS485
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英文
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操作手册
TINA83D1 Gemini MxG5xx Gebrauchsanleitung
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979,5 KB
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德语
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操作手册
TINA83E1 Gemini MxG5xx Operating manual
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英文
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操作手册
3D 步骤文件
MAG500_FCC_25KF
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339,0 KB
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MAG500_FCC_40CF
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343,6 KB
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MAG500_FCC_40KF
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339,0 KB
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MMAG50x_9DSub_25KF.stp
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1,1 MB
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MMAG50x_9DSub_40CF-F.stp
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1,2 MB
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MMAG50x_9DSub_40CF-R.stp
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1,2 MB
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MMAG50x_9DSub_40KF.stp
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1,1 MB
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MMPG50x_9DSub_25KF.stp
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1,1 MB
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MMPG50x_9DSub_40CF-F.stp
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1,2 MB
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3D文件
MMPG50x_9DSub_40CF-R.stp
stp
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1,2 MB
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3D文件
MMxG55x_15DSub_EtherCAT_II_25KF
stp
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1,9 MB
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3D文件
MMxG55x_15DSub_EtherCAT_II_40CF-F
stp
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1,9 MB
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3D文件
MMxG55x_15DSub_EtherCAT_II_40CF-R
stp
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1,9 MB
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3D文件
MMxG55x_15DSub_EtherCAT_II_40KF
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1,9 MB
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MPG500_FCC_25KF
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339,0 KB
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MPG500_FCC_40CF
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343,6 KB
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MPG500_FCC_40KF
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339,0 KB
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MPG50x_9DSub_25KF
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MPG50x_9DSub_40KF
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MPG55x_15DSub_E-CAT_II_40CF-R
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