冷阴极真空计

Gemini™ MxG5xx

大气压至超高真空真空计

Gemini-MxG5xx

Product configurator

Gemini™ MxG5xx

Type
Sensor version
Ionization chamber
Emmision current
Flange connection to vacuum chamber
Switching function
Electrical connection
Digital interface
Analog output signal
Your configuration
inficon-gauge
Gemini™ MxG5xx
Flange
DN 16 ISO-KF
Switching functions
None
Electrical Connection
FCC, 8-pin
Digital Interface
None
Measurement range
1.2 - 8.68 V
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Product
inficon-gauge
Gemini™ MxG5xx
Gemini™ MAG500
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INFICON Gemini™ 倒置磁控真空计是所有真空测量应用(专利申请中)的动力源泉。Gemini MPG50x将两个传感器系统组合在一个小型设备中,用于从大气测量低至1x10–9毫巴,而Gemini MAG50x是一个纯冷阴极传感器系统(不含Pirani元件),覆盖范围从1x10-2毫巴至1x10-9毫巴。获得专利的超低杂散磁场设计为全新的应用领域开启了大门。独特的可互换式双室传感器单元不用清洗并减少了维护,这使使Gemini成为同类产品中最坚稳和经济的真空计。

Gemini冷阴极和组合真空计配备了完全集成的数字电子设备,使系统集成具有很强的灵活性。冷阴极和皮拉尼组合选项提供了跨越多个应用领域的无缝转换、可靠性、实用性和灵活性。

MAG和MPG Gemini现在可提供EtherCAT现场总线和MAG55x和MPG55x设定点。

优势

  • 在恶劣环境下,使用寿命长
  • 低杂散磁场
  • 零维护 - 可换插头
  • 超紧凑尺寸
  • 抗腐蚀馈入装置
  • 可选测量电流
  • 2个继电器设定点(与MxG55x EtherCAT版本配合使用)
  • EtherCAT和RS232/RS485数字接口

典型应用

  • 在蒸发和溅射涂层应用中从大气到高真空基本压力监测和控制。
  • 一般真空测量 - 工业炉、建筑玻璃、半导体、冰箱和空调。
  • 分析和研发应用 – 质谱分析、电子显微镜、医疗、眼科、光学和高能物理。

技术规格

MAG5xx
MPG5xx
测量范围(空气、氮气)mbar
Torr
1×10-9 … 1×10-2
(7.6×10-10 … 7.6×10-3)
准确度 (N2)
1×10-8 … 1×10-2 毫巴% of reading30
1×10-2 … 100 毫巴% of reading-
100 … 1000 毫巴% of reading-
可重复性 (N2)
1×10-8 … 1×10-2 毫巴% of reading5
1×10-8 … 100 毫巴% of reading-
容许温度
运行(环境)°C+5 ... +55
法兰烘烤 (1)°C<150
储存°C-40 ... +70
灯丝温度°C-
供电电压
在量规 (2)V (dc)+14.5 ... +30
波纹V (p-p)<1
功耗W<2
待连接的保险丝AT<1
   
(1)没有电子元件。
(2)电源单元的最小电压必须与传感器电缆的长度成比例地增加。
测量范围(空气、氮气)mbar
Torr
(7.6×10-10 … 760)
1×10-9 … 1×10-2
准确度 (N2)
1×10-8 … 1×10-2 毫巴% of reading30
1×10-2 … 100 毫巴% of reading30
100 … 1000 毫巴% of reading50
可重复性 (N2)
1×10-8 … 1×10-2 毫巴% of reading-
1×10-8 … 100 毫巴% of reading5
容许温度
运行(环境)°C+5 ... +55
法兰烘烤 (1)°C<150
储存°C-40 ... +70
灯丝温度°C120
供电电压
在量规 (2)V (dc)+14.5 ... +30
波纹V (p-p)<1
功耗W<=3
待连接的保险丝AT<1
   
(1)没有电子元件。
(2)电源单元的最小电压必须与传感器电缆的长度成比例地增加。
在此下载完整的规格
法兰盘类型
零部件
MAG5xx
零件编号描述
211-098Centering ring with fine filter DN 25 KF
351-550MxG50x Ignition tool set
211-113Centering ring with baffle DN 25 KF
353-512

Baffle for BPG400

 

 

MPG5xx
零件编号描述
211-098Centering ring with fine filter DN 25 KF
351-550MxG50x Ignition tool set
211-113Centering ring with baffle DN 25 KF
353-512Baffle for BPG400
MAG5xx
零件编号描述
351-500MAG500 spare sensor, 25KF, SS
351-556Spare ion chamber ti
351-512MAG500 spare sensor, 40KF, SS
351-536MAG500 spare sensor, 40CF-R, SS
351-524MAG500 spare sensor, 40CF-F, SS
351-502MAG500 spare sensor, 25KF, TI
351-514MAG500 spare sensor, 40KF, TI
351-538MAG500 spare sensor, 40CF-R, TI
351-526MAG500 spare sensor, 40CF-F, TI
351-501MAG504 spare sensor, 25KF, SS
351-513MAG504 spare sensor, 40KF, SS
351-537MAG504 spare sensor, 40CF-R, SS
351-525MAG504 spare sensor, 40CF-F, SS
351-503MAG504 Ersatzsensor, 25KF, TI
351-515MAG504 spare sensor, 40KF, TI
351-539MAG504 spare sensor, 40CF-R, TI
351-527MAG504 spare sensor, 40CF-F, TI
351-995MxG40x/50x Spare parts ignition aid (10)
351-555

Spare ion chamber ss

 

 

MPG5xx
零件编号描述
351-506MPG500 spare sensor, 25KF, SS
351-518MPG500 spare sensor, 40KF, SS
351-542MPG500 spare sensor, 40CF-R, SS
351-530MPG500 spare sensor, 40CF-F, SS
351-508MPG500 spare sensor, 25KF, TI
351-520MPG500 spare sensor, 40KF, TI
351-544MPG500 spare sensor, 40CF-R, TI
351-532MPG500 spare sensor, 40CF-F, TI
351-507MPG504 SS,LC,9DSub,25KF
351-519MPG504 spare sensor, 40KF, SS
351-543MPG504 spare sensor, 40CF-R, SS
351-531MPG504 spare sensor, 40CF-F, SS
351-509MPG504 spare sensor, 25KF, TI
351-521MPG504 spare sensor, 40KF, TI
351-545MPG504 spare sensor, 40CF-R, TI
351-533MPG504 spare sensor, 40CF-F, TI
351-995MxG40x/50x Spare parts ignition aid (10)
351-555Spare ion chamber ss
351-556Spare ion chamber ti

零件编号

Gemini Ordering Information_13.03.2019
Gemini Ordering Information_13.03.2019

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