电容式压力计

Cube® CDGsci

全量程 0.1 ... 1000 Torr / mbar

Cube-CDGsci

Product configurator

Gemini™ MxG5xx

Type
Sensor version
Ionization chamber
Emmision current
Flange connection to vacuum chamber
Switching function
Electrical connection
Digital interface
Analog output signal
Your configuration
inficon-gauge
Gemini™ MxG5xx
Flange
DN 16 ISO-KF
Switching functions
None
Electrical Connection
FCC, 8-pin
Digital Interface
None
Measurement range
1.2 - 8.68 V
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Product
inficon-gauge
Gemini™ MxG5xx
Gemini™ MAG500
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INFICON SKY CDG200D 高温压力计是实现精确总压测量与控制的理想之选。CDG200D 真空计温度控制在 200 °C,具有卓越的性能,适用于苛刻的半导体和等离子过程。在 1 Torr 至 1000 Torr 满刻度范围内均可使用,带有所有常用类型的法兰和现场总线接口,能够提供 0 至 10 V、不受气体类型限制的对数压力信号。INFICON 电容式压力计采用超纯氧化铝陶瓷隔膜,具有防腐蚀性。陶瓷传感器具有信号稳定性更佳、从大气恢复的速度更快、预热时间短和使用寿命长等诸多优势。INFICON CDG 压力传感器品质卓越,极具成本效益,适用于苛刻的半导体、等离子和真空应用。

好处

  • 拥有成本更低,预热速度快 50%,节能,低功耗
  • 易于集成,各种满刻度、法兰和接口,标配两个设定点
  • 轻松一键归零或远程信号归零指令,可调零点偏移
  • 诊断端口便于快速服务与维护
  • 两年保修服务、加热概念和真空计保护延长了使用寿命
  • 卓越的信号稳定性和可重复性,即使是最严苛的等离子应用,都无需长期执行重新校准
  • 合规和标准:CE、EN、UL、SEMI、RoHS

典型应用

  • 蚀刻、CVD、PVD 及其他半导体生产过程
  • 化学和腐蚀性高温过程
  • 需要真空计保护的一般薄膜和真空过程

规格

1000 Torr
100 ... 1 Torr
100mTorr
精度 % of reading0.025
输出信号(模拟)V (dc)0 … +10
反应时间 ms100
暴露于真空的材料 Aluminum oxide ceramic (AI2O3), stainless steel (AISI 316L)
精度 % of reading0.025
输出信号(模拟)V (dc)0 … +10
反应时间 ms100
暴露于真空的材料 Aluminum oxide ceramic (AI2O3), stainless steel (AISI 316L)
精度% of reading0.05
输出信号(模拟)V (dc)0 … +10
反应时间 ms100
暴露于真空的材料 Aluminum oxide ceramic (AI2O3), stainless steel (AISI 316L)
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