热电离真空计

BPG400

大气压至超高真空真空计

Pirani-BAG402-BPG400-BPG402
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Gemini™ MxG5xx

Type
Sensor version
Ionization chamber
Emmision current
Flange connection to vacuum chamber
Switching function
Electrical connection
Digital interface
Analog output signal
Your configuration
inficon-gauge
Gemini™ MxG5xx
Flange
DN 16 ISO-KF
Switching functions
None
Electrical Connection
FCC, 8-pin
Digital Interface
None
Measurement range
1.2 - 8.68 V
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Product
inficon-gauge
Gemini™ MxG5xx
Gemini™ MAG500
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INFICON Bayard-Alpert 皮拉尼复合真空计 BPG400 将 Bayard-Alpert 和皮拉尼两种真空计的功能融合入单个紧凑型装置中,测量范围为 5×10-10 mbar至大气压(3.8×10-10 Torr 至大气压)。多项技术相结合降低了安装、设置和集成的复杂性。选择 BPG400 单一经济型封装,在低成本、可重复的过程中进行基础压力测量。

好处

  • 从 5 x 10-10 mbar 至大气气压(3.8 x 10-10 Torr 至大气气压)的极其宽泛的测量范围
  • 在 10-8 … 10-2 mbar 5% 工艺压力范围内为表现出优秀的重复性
  • 皮拉尼联锁保护 Bayard-Alpert 系统在高压操作下丝极过早烧毁和过度污染
  • 长使用寿命氧化钇铱丝
  • 备有可选的图形显示器和现场总线接口
  • 高真空皮拉尼自动调节,减少操作员的干预
  • 符合 RoHS 标准
  • 低真空至超高真空范围内的一般真空测量和控制

典型应用

  • 对半导体过程和传输腔室的压力测量
  • 工业镀膜
  • 低真空至超高真空范围内的一般真空测量和控制

规格

Measurement range (air, O2, CO, N2)mbar
Torr
5×10-10 … 1000
3.8×10-10 … 750
   
Accuracy  
10-8 … 10-2 mbar% of reading±15
   
Repeatability  
10-8 … 10-2 mbar% of reading5
   
Temperature  
Operation (ambient)°C0 … +50
Storage°C-20 … +70
Bakeout at flange with extension°C150
Bakeout at flange without extension°C80
Bakeout electronics removed°C150
   
Supply voltageV (dc)
A (dc)
+20 … +28
0.8
   
Materials exposed to vacuum Yt2O3, Ir, Pt, Mo, Cu, W, NiFe, NiCr, stainless steel, glass
在此下载完整的规格
Part Number
Accessories
Spare Parts
Part NumberDescription
353-500BPG400 DN 25 ISO-KF
353-501BPG400 LCD, DN 25 ISO-KF
353-502BPG400 DN 40 CF-R
353-503BPG400 LCD, DN 40 CF-R
353-505BPG400-SP PBus, DN 25 ISO-KF
353-506BPG400-SP PBus, DN 40 CF-R
353-507BPG400-SD DNet, DN 25 ISO-KF
353-508BPG400-SD DNet, DN 40 CF-R
Part NumberDescription
353-511Power supply BPG400 24VDC
353-510100 mm sensor extension tube
353-512Baffle for BPG400
211-113Centering ring with baffle DN 25 KF
Part NumberDescription
354-490Spare sensor head BPG400, DN 25 ISO-KF
354-491Spare sensor head BPG400, DN 40 CF-R
354-498Spare electronic BPG400 without Display
354-499Spare electronic BPG400 with Display

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