热电离真空计
BAG05x
UHV BAYARD ALPERT 热电离被动真空计
嵌入式选项
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Product configurator
Gemini™ MxG5xx
Type
Sensor version
Ionization chamber
Emmision current
Flange connection to vacuum chamber
Switching function
Electrical connection
Digital interface
Analog output signal
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INFICON Bayard-Alpert 被动真空计头 BAG050、BAG051、BAG052 和 BAG053 设计用于 INFICON 真空计控制器 VGC083A 和 VGC083B。氧化钇涂层铱丝适用于空气和惰性气体中的一般真空应用，例如在 N2 和氩气中。如果气体与氧化钇涂层铱丝不兼容，则为其选择钨丝。BAG05x 真空计还可使用其他制造商生产的兼容真空计控制器操作。INFICON 被动 Bayard-Alpert 电离真空计 (BAG05x) 可采用三种不同的配置：
BAG050 属于 EB 脱气 UHV 祼电离真空计，能够测量低至 2 × 10-11 Torr 的压力。
BAG051 属于电阻式脱气 (I2R) 祼电离真空计，能够测量低至 4 × 10-10 Torr 的压力。
BAG052 和 BAG053 属于电阻式脱气 (I2R) 玻璃封装电离真空计，能够测量低至 4 × 10-10 Torr 的压力。
好处
- 可靠且经过验证的测量仪头设计
- 可代替大多数裸热电离真空计头
- 宽范围的发射电流（100μA 至 10 mA）
- 可提供单/双氧化钇涂层铱和双钨丝阴极组件
- 脱气：所有型号都可以使用电子轰击 (EB) 进行脱气。
- BAG051、BAG052 和 BAG053 也可以使用电阻脱气 (I2R)
规格
BAG050
BAG051
BAG052
BAG053
BAG055
| Measurement range | mbar Torr | 2.7 x 10-11 ... 1.3 x 10-3 2 x 10-11 ... 1 x 10-3 |
| X-ray limit | Torr | 2 x 10-11 |
| Bakeout temperature | °C | 450 |
| Insulator | ceramic | |
| Flange material | stainless steel 304 |
| Measurement range | mbar Torr | 5.3 x 10-10 ... 1.3 x 10-3 4 x 10-10 ... 1 x 10-3 |
| X-ray limit | Torr | 4 x 10-10 |
| Bakeout temperature | °C | 450 |
| Insulator | ceramic | |
| Flange material | stainless steel 304 |
| Measurement range | mbar Torr | 4 x 10-10 ... 1 x 10-3 5.3 x 10-8 ... 1.3 x 10-1 |
| X-ray limit | Torr | 4 x 10-10 |
| Bakeout temperature | °C | 450 |
| Insulator | glass to metal | |
| Flange material | glass Nonex 7720 |
| Measurement range | mbar Torr | 5.3 x 10-8 ... 1.3 x 10-1 4 x 10-10 ... 1 x 10-3 |
| X-ray limit | Torr | 4 x 10-10 |
| Bakeout temperature | °C | 450 |
| Insulator | glass to metal | |
| Flange material | glass Nonex 7720 |
| Measurement range | mbar Torr | 1.3×10-9 … 6.7×10-2 1×10-9 … 5×10-2 |
| X-ray limit | Torr | 5 x 10-10 |
| Bakeout temperature | °C | 200 |
| Insulator | glass | |
| Flange material | stainless steel 304 |
零件编号
